Тихий разряд (silent), он же диэлектрический барьерный разряд, который происходит в газе без искр, не особенно интересует физиков, но очень привлекает химиков, поскольку позволяет осуществить множество интересных реакций. Самая известная - получение озона из кислорода, но есть и другие примеры. В частности, на газовом разряде работают генераторы ультрафиолета, которые применяются в самых разных областях: для отверждения клеев и полимеров, травления фоторезиста, фотодиссоциации вредных веществ и стерилизации медицинского оборудования.